實驗儀器的維護主要是對內部各個單元部件的細分檢查。檢測是否有破損、灰塵堆積等，若有情況需要及時處理。一般需要檢查的內部系統有：電路、風路、計算機系統等，另外還有一些輔助設備的檢測。

　　電路的檢測需要注意電源與儀器之間的電壓要穩定，日常使用中要注意輸出的電壓是不是正常狀態，一但發生異常，千萬不要開機，需要立即通知廠家維修。

　　風路是指儀器上面的通風散熱系統等，在進行維護時應著重查看風扇等有沒有正常運轉，有沒有出現有害尾氣瀉漏等情況。

　　計算機在實驗儀器的控制上面已經應用的非常廣泛了，很多儀器都會配備有電腦控制系統，對系統的維護非常重要，一但電腦系統出現問題，儀器就不能正常工作了，如果出現問題要及時報修。

　　每臺實驗儀器都會配備相關的輔助設施，如安全系統等，它對儀器的正常工作非常的重要，如果輔助設備出現問題也應該及時報修。

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